236764806 发表于 2017-4-12 16:36:47

山东新华低温等离子故障求助

机器工作过程中报内室压力p检测异常请问这是什么故障呀！

王存航 发表于 2017-4-12 20:19:59

检查压力阀。

zhmszt755 发表于 2017-9-29 17:23:10

看看显示屏上面的压力是多少Pa,这个内室压力传感器在机器右中靠后位置。
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