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[设备故障求助] 山东新华低温等离子故障求助

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236764806 显示全部楼层 发表于 2017-4-12 16:36:47 |阅读模式
机器工作过程中报内室压力p检测异常  请问这是什么故障呀!
已绑定手机
王存航 显示全部楼层 发表于 2017-4-12 20:19:59
检查压力阀。
zhmszt755 显示全部楼层 发表于 2017-9-29 17:23:10
看看显示屏上面的压力是多少Pa,这个内室压力传感器在机器右中靠后位置。
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