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相位调制椭偏仪将成为我国实验室新热门云南宇华光电公司日前召开新闻发布会，宣布他们自主研发成功了国内第一台相位调制椭偏仪。这个消息，在国内物理测试行业引起了不小的轰动。
椭偏仪是一种用来测量薄膜厚度、光学常数和材料微结构的物理光学测量设备。由于它不需要与样品接触，不需要真空状态条件，也不会破坏样品等优点，使得椭偏仪成为一种极具吸引力的测量设备。
那么，这次宇华光电开发的相位调制椭偏仪，与传统的机械旋转椭偏仪有什么区别呢？首先，它没有任何的转动部件，调制速度非常。光弹性调制式的调制速度达到了50kHz，这样可以极快地采集数据。而传统机械旋转偏振光谱仪由于机械速度的限制，数据采集速度也相应地慢了很多。 其次，使用高频调制和位相探测，使椭圆偏振光谱仪对周围环境和仪器振动导致的光变化不敏感。再次，在位相变化接近 180° 和 0° 时，光弹性调制器系统相对旋转偏振光谱仪有更高的准确度，没有死角。最后，由于在数据采集过程中无机械转动部件，所以元件磨损、数据漂移带来的风险较小。
以上所有的这些特性保证了相位调制型椭偏仪具有长期的高准确度与可靠性，适应高标准应用需求。同时，椭圆偏振光谱仪的数据处理软件包含有完备的软件，可以分析复杂的多层膜和由电介质、半导体与金属组成的多组分结构。
相位调制椭偏仪UVISEL
而宇华光电的相位调制型椭偏“UVISEL”拥有更加优秀的性能，它能够在全谱范围内测得非常准确的椭偏角，从而使得对透明衬底、超薄薄膜和折射率接近的样品进行高精度和高灵敏度的特性分析成为可能。同时，相位调制技术原理的应用，让UVISEL能够进行很多先进的参数测量，比如极化度、各向异性和Mueller矩阵元素的确定等。高达1毫秒/每数据点的快速数据采集速率，使得UVISEL成为动态研究和液态表面测量的最理想解决方案。
UVISEL还是一台具有多功能的光谱型椭偏仪。它能够测量从190nm到2100nm宽的光谱范围，并且提供了许多的自动选件和附件来增强系统的功能、以满足不同的实验需求。模块化的设计使得UVISEL配置灵活，离线、在线皆可，甚至能够集成到一个机柜中。
据宇华光电称，他们这台机器首次亮相的场合将会是不久后在湖南举行的2009第七届国际实验室设备及装备采购会（红方块科博会），选择红方块科博会的原因是看中了它的权威性、专业性与国际性，他们希望能够借这个机会将自己的品牌一炮打响，甚至可以将自己的仪器出口到国外去。不论宇华光电是否能够成功登陆国际市场，相位调制椭偏仪UVISEL在红方块科博会展出之后，一定会受到国内广大实验室与科研机构的关注，相信它很快就会成为我国物理研究的热门装备。
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